主軸系統位于設備的下方， 由電機通過窄V帶拖動， 采用最短的傳動鏈保證了其運轉精度，下盤采用高精度軸承定位支撐，運轉剛度和精度都得到了良好的保障， 下盤軸下部裝有旋轉接頭， 用于下盤內通冷卻水， 下盤冷卻水流量可通過電動閥比例調節。

PP拋光頭位于設備的上部， P P頭的升降及加壓由氣缸實現， 四個P P頭的升降及加壓均單獨控制； P P頭可主動旋轉， 單獨控制； PP頭具備真空吸附功能， 可將陶瓷盤快速提起；

在設備的上部箱體正面設有主操作面板， 可進行參數設定， 運行監控等功能， 在上箱體的兩個側面分別設有小操縱板用于四個P P 頭的升降操作；

拋光液、冷卻水、清洗水及氣路等從設備的后部引入；

在下盤的外側設有可滑動的防護罩， 可防止工作液的飛濺， 減少有害氣體的溢出。