廣州賽通科技有限公司是傳感器制造廠家。所制造的傳感器包括土壤傳感器,水質傳感器,氣體傳感器,大氣環(huán)境傳感器等。
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傳感材料、MEMS 芯片、驅動程序和應用軟件是智能傳感器實現(xiàn)這些功能的核心技術,特別是 MEMS 芯片,由于其具有體積小、重量輕、功耗低、可靠性高并能與微處理器集成等特點,已成為智能傳感器的重要載體。下面以常用的溫度、壓力、光學和RFID傳感器為例,介紹基于MEMS的智能傳感器技術進展。
① 智能溫度傳感器
智能溫度傳感器適用于冶金、石化、石油、化工、制藥、造紙、印染、釀造、環(huán)保、電力等行業(yè)。當前的智能溫度傳感器正朝著高精度、多功能、總線標準化、高可靠性及安全性、開發(fā)虛擬傳感器和網(wǎng)絡傳感器、研制單片測溫系統(tǒng)等方向迅速發(fā)展。目前,國外已相繼推出多種高精度、高分辨率的智能溫度傳感器,使用 9~12位A/D轉換器,分辨率可以達到 0.5~0.625℃。由美國Dallas半導體公司新研制的DS1624型高分辨力智能溫度傳感器,能輸出13位二進制數(shù)據(jù),分辨率高達0.03℃,測溫精度為±0.2℃。
② 智能壓力傳感器
基于 MEMS技術的智能壓力傳感器具有小型化、低成本、易集成等優(yōu)點。壓力的傳感范圍也很寬,在1kPa~100MPa 之間??蓮V泛應用于微型機電系統(tǒng)、汽車、航空動力學、工藝控制和生物醫(yī)學等方面。當前智能壓力傳感器技術的研究熱點致力于減輕其敏感性和線性之間的矛盾,以提高傳感器精度[3]。美國柏恩Bourns研制的BPS140新型壓力傳感器性能穩(wěn)定,在溫度范圍為-40°C至150°C之間使用時,總誤差為2.5%FS,產(chǎn)品壽命變化為0.5%FS[4]。
非接觸和非破壞性測量是光學傳感器的一大優(yōu)勢,在電子產(chǎn)品檢測領域應用較多。當前CCD和CMOS圖像傳感器是兩大主流成像技術。隨著圖像傳感器技術的不斷改進,像素精度不斷提高(已經(jīng)達到5μm級別),同時對環(huán)境照度要求不斷降低。安森美推出的KAI-50140是當前市場上分辨率最高的ITCCD圖像傳感器,達到5000萬像素,具有關鍵細節(jié)成像能力和高圖像均勻性,可用于智能手機顯示屏檢測、電路板檢測和機械裝配檢測等領域。